Optical properties and microstructure of ZrO2 thin films deposited by RF magnetron sputtering:case study on effects of different working temperatures

نویسندگانReza Shakoury , Ali Arman , Sadegh Miri , Mohsen Mardani , Sahar Rezaee , Arash Boochani , Ghasem Amraee Rad،Khalil Sherafat
نشریهOptical and Quantum Electronics
نوع مقالهFull Paper
تاریخ انتشار2022
رتبه نشریهISI
نوع نشریهچاپی
کشور محل چاپایران

چکیده مقاله